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产品名称:
TORAY东丽电子束半导体晶圆图案检测
产品型号:
NGR3520
产品展商:
TORAY东丽浓度计
折扣价格:
0.00 元
关注指数:123
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TORAY 东丽工程（Toray Engineering）浓度计分气体氧浓度计（氧化锆式，行业俗称酸素浓度计）、液体在线浓度计（近红外光学 LC 系列）、水质 TOC/TN 总有机碳分析仪三大产品线，半导体、化工、热处理、水处理行业应用*广，你之前查询的 MK-750STA 配套设备常搭配东丽氧浓度计使用。
TORAY东丽电子束半导体晶圆图案检测
的详细介绍
TORAY东丽电子束半导体晶圆图案检测
设备NGR3500系列
<概述>
随着半导体器件性能和多功能的进步，通过结合各种检测和测量来管理制造过程变得必要。
NGR3500系列基于芯片到数据库算法，利用广视场电子显微镜图像进行高度灵敏度的图案缺陷检测和快速的二维多点图案尺寸测量，显著提升半导体制造厂的良率。
<电子束半导体晶圆图案检测设备NGR3500系列规格>
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产品名称
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设备特性
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规格
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NGR3520
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该NGR3520采用新型电光系统提升分辨率，并将*小检测像素尺寸微型化至1nm，使其能够检测和测量从10nm时代起的**器件。
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晶圆尺寸：Φ300mm（半半铁标准V型缺口晶圆）
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应用
（案例研究）
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热点提取/监测、
工艺窗口评估、
OPC优化、
CD均匀性测量、
CD分布分析、
芯片内覆盖测量、
EPE测量
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选项
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干泵、
磁场消除器、振动
隔离表、
NDAS许可、
模式分类功能、
模式搜索功能、
FA兼容
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