如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
TORAY东丽半导体晶圆图案检测设备
产品型号:
NGR5300
产品展商:
TORAY东丽浓度计
折扣价格:
0.00 元
关注指数:128
产品文档:
无相关文档
<概述>
TORAY 东丽工程（Toray Engineering）浓度计分气体氧浓度计（氧化锆式，行业俗称酸素浓度计）、液体在线浓度计（近红外光学 LC 系列）、水质 TOC/TN 总有机碳分析仪三大产品线，半导体、化工、热处理、水处理行业应用*广，你之前查询的 MK-750STA 配套设备常搭配东丽氧浓度计使用。
TORAY东丽半导体晶圆图案检测设备
的详细介绍
电子束半导体晶圆图案检测
设备NGR5000系列
<概述>
NGR5000系列正为NAND存储半导体制造商开发，这些半导体正日益多层以追求更高性能，同时也面向DRAM存储半导体和逻辑半导体制造商，这些半导体正日益微型化，从而提升制造工艺效率。 NGR5500成功将电子束显微镜中使用的电子加速电压提升至50kV。 通过提高加速电压，可以获得越来越高质量的半导体器件图像，从而实现高精度的检测和测量。
|
NGR5300
|
NGR5300是一种应用于**半导体器件的电子束晶圆图案验证系统。 该NGR5300配备了专有的电子束光学系统，能够获取广视场图像，以及D2DB（芯片到数据库）算法，用于检测和测量晶圆上的图案。
NGR5300是NGR3500系列的继任者。 通过采用XY阶段*新技术、电子束光学、平台和图像处理系统，实现高通量和高精度的检测测量。
|
晶圆尺寸：Φ300mm（半半铁标准V型缺口晶圆）
|
应用
（案例研究）
|
热点提取/监测、
工艺窗口评估、
OPC优化、
CD均匀性测量、
CD分布分析、
芯片内覆盖测量、
EPE测量
|