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产品名称:
TORAY东丽电子束半导体晶圆图案检测
产品型号:
NGR5500
产品展商:
TORAY东丽浓度计
折扣价格:
0.00 元
关注指数:113
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NGR5000系列正为NAND存储半导体制造商开发，这些半导体正日益多层以追求更高性能，同时也面向DRAM存储半导体和逻辑半导体制造商，这些半导体正日益微型化，从而提升制造工艺效率。 NGR5500成功将电子束显微镜中使用的电子加速电压提升至50kV。 通过提高加速电压，可以获得越来越高质量的半导体器件图像，从而实现高精度的检测和测量。
NGR5300作为前一NGR3500系列的继任者开发。 凭借新开发的光学系统、图像采集系统和高速级，我们实现了**半导体所需的检测测量精度和通量。
TORAY东丽电子束半导体晶圆图案检测
的详细介绍
TORAY东丽电子束半导体晶圆图案检测
电子束半导体晶圆图案检测
设备NGR5000系列
<概述>
NGR5000系列正为NAND存储半导体制造商开发，这些半导体正日益多层以追求更高性能，同时也面向DRAM存储半导体和逻辑半导体制造商，这些半导体正日益微型化，从而提升制造工艺效率。 NGR5500成功将电子束显微镜中使用的电子加速电压提升至50kV。 通过提高加速电压，可以获得越来越高质量的半导体器件图像，从而实现高精度的检测和测量。
NGR5300作为前一NGR3500系列的继任者开发。 凭借新开发的光学系统、图像采集系统和高速级，我们实现了**半导体所需的检测测量精度和通量。
<电子束半导体晶圆图案检测设备NGR5000系列规格>
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产品名称
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设备特性
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规格
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NGR5500
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NGR5500是一种利用可变电压电子束获取广视场图像的装置，实现多点测量数据以及在广视场内进行广域图案的检查和测量。
通过将高加速电子束照射到半导体晶圆上的图案上，可以生成次级和反射电子信号的图像，从而使得利用这些图像进行检测和测量。 对于高横向图案，可以测量尺寸和倾斜度等图案形状。 此外，对于多层图案，还可以对层间图案进行叠加测量。
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晶圆尺寸：Φ300mm（半半铁标准V型缺口晶圆）
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应用
（案例研究）
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热点提取/监测、
工艺窗口评估、
OPC优化、
CD均匀性测量、
CD分布分析、
芯片内覆盖测量、
EPE测量
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