日本AMAYA天谷制作所

近年来，物联网的发展令人瞩目，我们已经能够在任何地方享受到利用它的便捷服务。其核心是感知、获取、处理和分析海量数据的技术，因此需要加快引入传感器、人工智能、新一代高技术等新技术**和技术。高速通信需要多种大规模半导体器件来支持

自1970年开始开发和销售常压CVD设备以来，我们为提高半导体制造工艺和研发工艺的质量和生产率做出了贡献。2010年，我们作为常压CVD技术的专业人士继续接受挑战，例如将该技术扩展到太阳能电池。

2019年，作为渡边商工集团业务重组的一部分，我们接管了Tomco株式会社的设备业务，并接管了光掩模清洗设备的制造和销售业务。
未来，作为常压CVD设备的行业利基***，我们将继续提供有助于提高客户制造和研发过程的质量和生产率的设备和服务，以及开发光掩模清洗设备。 ・我们也将通过致力于制造和销售，通过半导体事业的发展，为建设富裕、舒适的社会做出贡献。

对应于半导体制造用、太阳能电池制造用等各种用途

从少量生产到大量生产

形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各种膜种

采用SiC托盘防止重金属污染，从低温（200℃）到中温（500℃）区域可以广泛成膜

日本AMAYA天谷制作所——单片式常压CVD装置 A200V
日本AMAYA天谷制作所——8英寸连续式量产用常压CVD装置AMAX800V
日本AMAYA天谷制作所——12英寸连续式量产用常压CVD装置AMAX1200
日本AMAYA天谷制作所——小口径晶圆连续式量产用常压CVD装置A6300S
日本AMAYA天谷制作所——定制装置
日本AMAYA天谷制作所——间歇式常压CVD装置D501
日本AMAYA天谷制作所——太阳能电池用装置
日本AMAYA天谷制作所——125mm/156mm太阳能电池量产用连续式常压CVD装置AMAX1000S
日本AMAYA天谷制作所——玻璃基板成膜装置
日本AMAYA天谷制作所——对应FPD等刚性/挠性器件的常压CVD装置