hamamatsu滨松真空紫外近距离照射型VUV-LED 光源单元L10706
hamamatsu滨松 L10706 是一款临近辐照型 VUV（真空紫外）光源单元。它本质上是一台真空静电消除器（VUV Ionizer），通过发射真空紫外光来电离真空腔室内的残留气体，从而中和并去除物体表面的静电。L10706 专为在真空环境下进行近距离、定点、精准的静电消除而设计。
hamamatsu滨松真空紫外近距离照射型VUV-LED 光源单元L10706核心特点：
真空腔内直接安装：与 L12542、L15094（均安装于腔外）不同，L10706 的光源单元可直接安装于真空腔体内部，紫外光无需穿过真空法兰，光传输效率更高
近接照射：光源可贴近被除电物体安装，在近距离范围内实现高效静电消除
柔性安装：通过柔性管连接光源单元与电源单元，可自由调整照射方向和角度，适应复杂腔内布局
超轻量设计：光源单元质量极轻，对真空腔内的安装支架和空间占用要求极低
高稳定性：光输出波动和漂移控制在极低水平，确保除电性能长期稳定、可重复
真空/减压环境专用：利用真空紫外光的光离子化原理，在减压环境下离子平均自由程更长，除电性能进一步增强
无气流依赖：紫外光在宽范围内使气体离子化，无论气体流动状态如何，均可获得稳定的除电性能
无电磁噪声：采用光照射电离方式，不产生电磁噪声，不影响精密制造设备
无粉尘产生：与电晕放电方式不同，无电极劣化产生粉尘的问题，实现洁净的静电消除
无过冲（Overshoot）：正负离子在空间均匀分布，被除电物体的残余电位为 0 V，不会产生反极性静电
免维护：无需离子平衡调整等日常维护，仅需定期更换氘灯
hamamatsu滨松真空紫外近距离照射型VUV-LED 光源单元L10706注意事项：
紫外**：L10706 发射 115～400 nm 真空紫外光，对眼睛和皮肤有害。操作时必须佩戴防护护目镜和防护手套（参照 JIS T 8141），严禁直视光导出端
臭氧产生：在大气中点灯时会产生臭氧，必须确保充分通风
真空腔内安装：L10706 设计为直接安装于真空腔体内部，采用 IDF70 铜垫圈密封，真空密封性极高。安装时需确保铜垫圈一次使用后即更换，不可重复使用
柔性管弯曲：柔性管可自由弯曲调整照射方向，但弯曲半径不可过小，需参照滨松产品手册中的*小弯曲半径要求
高压空气冷却：L10706 采用高压空气强制风冷，需确保供应清洁、干燥的压缩空气，避免水分和油污进入光源单元
灯管维护：氘灯照射窗如有污染，需用丙酮等挥发性溶剂擦拭干净，并立即干擦去除残留溶剂。污染物在点灯时会被烧结，导致透过率下降和除电性能劣化
避免频繁开关：数秒至数分单位的频繁 ON/OFF 会导致灯管寿命大幅缩短。如需短时间遮断紫外光，建议使用快门遮挡而非关闭灯管
寿命判断：可通过电源单元的外部控制功能中的灯状态信号（Lamp Status Signal）计算累计点灯时间，据此判断更换时机。即使超过保证寿命，灯管仍可继续点灯并发挥除电效果，但除电性能会逐渐下降
光输出衰减：光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况（真空度、残留气体成分等），实际寿命可能与保证值有所差异
详细参数
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参数
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描述
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单位
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窗材
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MgF2
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－
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光谱分布
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115 至 400
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nm
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预热时间
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25 ±5
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s
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光输出稳定性
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波动 (p-p)
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*大值
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0.05
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%
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偏差
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*大值
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±0.3
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%/h
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保证光源寿命 (*1)
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1000
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h
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替换光源
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L10706D
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－
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真空法兰
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IDF70
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－
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密封方法
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铜垫圈
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－
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泄漏量
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1 x 10-10 Pa m3/s (*2)
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－
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输入电压（交流）
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100 V 至 240 V，单相 50 Hz / 60 Hz (*3)
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－
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功耗
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*大值
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200
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VA
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光源单元冷却方法
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高压空气强制风冷 (*4)
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－
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工作温度范围
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+10 至 +35
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℃
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储存温度范围
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-10 至 +60
|
℃
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工作湿度范围
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低于 80%（无冷凝）
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－
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储存湿度范围
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低于 80%（无冷凝）
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－
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外部控制
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照射控制、照射信号、各种报错信号
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－
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*1：寿命终止定义为 230 nm 的光输出低于其初始值的 50%，或光输出波动超过*大规格值。
请注意，光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况。
*2：使用氦气泄漏探测器测量的结果。
*3：L10706（电源单元）上的直流插孔输入应为 12 V DC（10.8 V 至 13.2 V DC 且小于 17 W）。
*4：使用高压管，以每分钟 20 至 30 升的流速供应压缩空气。
特性
安装示例
外形尺寸图（单位：mm）