hamamatsu滨松高输出型VUV-LED光源单元[产品打印页面]

hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元L15094

hamamatsu滨松VUV Ionizer L15094 是日本滨松光子学（Hamamatsu Photonics）推出的真空紫外（VUV）高输出照射型光源单元，属于滨松 VUV Ionizer（真空静电消除器）产品线中的高功率主力型号。该单元采用滨松独有的高出力重水素（氘）灯（H2D2）作为光源，通过 MgF₂ 窗口发射 115～400 nm 的真空紫外光，利用光离子化（Photoionization）原理，在真空或减压环境中高效产生正负离子，从而实现静电消除。hamamatsu滨松L15094 以高除电性能为核心优势，将除电能力推至 VUV Ionizer 产品线的*高水平，特别适合带电量大的物体或高速搬送物体的静电消除，同时可缩短除电时间、提升产线吞吐量（Throughput），并可构建离子富集（Ion-Rich）环境。

hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元L15094核心特点：

*高除电性能：采用滨松独有的高出力氘灯（H2D2），将除电性能*大化，可应对高带电量物体和高速搬送物体的静电消除

高输出氘灯（H2D2）：相比标准氘灯，H2D2 灯的紫外输出强度大幅提升，在相同照射距离下可提供更高的离子生成密度

真空/减压环境专用：利用真空紫外光的光离子化原理，在减压环境下离子平均自由程更长，除电性能进一步增强

离子富集环境构建：通过真空/减压环境中残留原子/分子的光电离，可构建离子富集（Ion-Rich）环境，适用于需要高离子密度的特殊工艺

高稳定性：光输出波动和漂移控制在极低水平，确保除电性能长期稳定、可重复

无气流依赖：紫外光在宽范围内使气体离子化，无论气体流动状态如何，均可获得稳定的除电性能

无电磁噪声：采用光照射电离方式，不产生电磁噪声，不影响精密制造设备

无粉尘产生：与电晕放电方式不同，无电极劣化产生粉尘的问题，实现洁净的静电消除

无过冲（Overshoot）：正负离子在空间均匀分布，被除电物体的残余电位为 0 V，不会产生反极性静电

免维护：无需离子平衡调整等日常维护，仅需定期更换氘灯

hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元L15094注意事项：

紫外**：L15094 发射 115～400 nm 真空紫外光，对眼睛和皮肤有害。操作时必须佩戴防护护目镜和防护手套（参照 JIS T 8141），严禁直视光导出端

臭氧产生：在大气中点灯时会产生臭氧，必须确保充分通风

真空腔外安装：L15094 设计为安装在真空腔体外部，通过真空法兰将紫外光导入腔内。真空腔表面（真空法兰安装部）温度在 140 ℃ 以下时可进行烘烤（Baking），但烘烤期间不可点灯

灯管维护：氘灯照射窗如有污染，需用丙酮等挥发性溶剂擦拭干净，并立即干擦去除残留溶剂。污染物在点灯时会被烧结，导致透过率下降和除电性能劣化

避免频繁开关：数秒至数分单位的频繁 ON/OFF 会导致灯管寿命大幅缩短。如需短时间遮断紫外光，建议使用快门遮挡而非关闭灯管

寿命判断：可通过电源单元的外部控制功能中的灯状态信号（Lamp Status Signal）计算累计点灯时间，据此判断更换时机。即使超过保证寿命，灯管仍可继续点灯并发挥除电效果，但除电性能会逐渐下降

光输出衰减：光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况（真空度、残留气体成分等），实际寿命可能与保证值有所差异

寿命与功耗权衡：L15094 采用高出力氘灯，除电性能*强，但保证寿命（1000 h）低于大面积型 L12542（2000 h），功耗（200 VA）也更高。如应用场景对除电速度要求不高，可考虑选用 L12542 以获得更长寿命和更低功耗

定制支持：真空法兰及安装方式可根据用户需求定制，滨松提供设计、制造及技术支持

hamamatsu滨松L15094 是高输出型号，使用我们内部制造的高功率氘灯。L15094 不仅具有高稳定性和长寿命，还可提供*大限度消除静电电荷的性能，因此能够从具有大静电电荷的物体或高速移动的物体中有效去除静电。L15094 还有助于缩短消除静电电荷所需的时间，以提高吞吐量。L15094 可在真空（减压状态）下有效地电离残留原子和分子，创造富含离子的环境。

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