hamamatsu滨松大面积辐照型VUV-LED光源单元[产品打印页面]

hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元L12542

hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元 L12542 是日本滨松光子学（Hamamatsu Photonics）推出的真空紫外（VUV）大面积辐照型光源单元，属于滨松 VUV Ionizer（真空静电消除器）产品线中的通用型主力型号。该单元采用高稳定性、长寿命的重水素（氘）灯作为光源，通过 MgF₂ 窗口发射 115～400 nm 的真空紫外光，利用光离子化（Photoionization）原理，在真空或减压环境中高效产生正负离子，从而实现静电消除。

L12542 以宽指向性（广角度配光）为核心优势，照射面积为传统 VUV 光源的 3 倍，可有效覆盖大型物体或多个物体的一并除电需求，在半导体、FDP（平板显示）等制造业的真空工艺中具有广泛的导入实绩。hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元L12542 是大面积辐照型号，具有宽指向性（光分布）以及高稳定性和长寿命。

在我们的真空静电消除器产品系列中，L12542 具有高通用性，并且在广泛领域中具有良好的使用记录。L12542 可有效快速消除大型物体或多个物体上的静电电荷。

hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元L12542核心特点：

1. 超大广角照射，大面积除静电

照射角度约为传统 VUV 光源的 3 倍，单台光源就可以完成大尺寸工件、多件工件同时除静电，减少设备数量，节约腔体空间。

2. 无过冲、无反向静电

依靠光离子化均衡生成正负离子，不会出现传统针式离子风机 “除静电过度、反向带电” 问题；可保护超薄薄膜、OLED、光刻胶等敏感精密工件。

3. 零污染、无电磁干扰

无电极针尖放电，不会产生溅射粉尘污染真空腔体；无射频 EMI 电磁干扰，不会影响腔内传感器、精密检测设备。无需吹入压缩空气，完全适配高真空工况。

4. 高光输出稳定性

‑ 光输出波动（峰峰值）≤0.05%

‑ 长时间漂移：≤ ±0.3 %/h，除静电效果长期稳定一致

5. 真空密封安装设计

光源头通过标准真空法兰安装在腔体外壁，光源本体不伸入真空内部；漏率低至 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，不会破坏腔体真空度，O‑Ring 密封结构，拆装便捷。

6. 完备自动化控制接口

电源控制器后侧端子支持：TTL 点灯启停、点灯运行反馈信号、故障报警输出，可直接对接产线 PLC，集成自动化流水线。

7. 长寿命可更换灯泡耗材

灯泡耗材型号：L12565；230nm 波段保证寿命 2000h；160nm 真空紫外波段预期寿命 500h；灯泡耗尽后单独更换即可，电源与光源外壳可重复使用。

hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元L12542典型应用场景：

1. 半导体真空制程：静电卡盘解吸附（De‑chuck），晶圆脱盘除静电；

2. 平板显示、OLED 制造：真空蒸镀工艺中基板、薄膜工件消除静电；

3. 硬盘磁头、磁盘加工：真空环境零部件除静电，防止静电击穿损伤磁介质；

4. 光学薄膜、卷材镀膜产线：真空腔体内部薄膜卷材大面积除静电；

5. 科研真空腔体样品静电中和实验。

hamamatsu滨松VUV-LED 光源单元L12542使用注意事项：

1. 115nm 真空紫外波段会和空气中氧气反应生成臭氧；设备务必在真空环境下点亮，禁止在大气环境中长期开启；

2. 真空紫外光线会损伤眼睛和皮肤，光路运行期间禁止直视出光窗口；

3. 风扇散热出风口保持通畅，不可堵塞风道；

4. 本设备为真空工况专用，不可当作普通大气环境 UV 固化光源使用。

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