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产品名称:
HUGLE藤宫全自动清洁系统SC-8 杉本
产品型号:
产品展商:
HUGLE藤宫
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HUGLE藤宫全自动清洁系统SC-8
HUGLE藤宫全自动清洁系统SC-8 杉本
的详细介绍
HUGLE藤宫全自动清洁系统SC-8
该系统是作为CRD-4500的后续系统开发的，是一种自动清洁系统，可以处理多达8个“晶圆托架和BOX。清洁目标设置在专用托盘中，并在每个处理腔室中进行有效的清洁/干燥。使用Hugle独特的特殊滚轮系统运送钢丝托盘，并采用Hugle颗粒措施。
兼容各种容器·节省空间/节能设计·Hugle独特的超精密清洗·高效热风刀烘干，实现完全烘干·提供多种选择·符合SEMI S2，S8和CE标准
规范
主机：2630（宽）x 1170（深）x 1706（高）毫米（不包括突出部分）