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产品名称:
HUGLE藤宫FOUP/FOSB全自动清洁系统
产品型号:
UPC-12500
产品展商:
HUGLE藤宫
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HUGLE藤宫FOUP/FOSB全自动清洁系统UPC-12500
HUGLE藤宫FOUP/FOSB全自动清洁系统
的详细介绍
HUGLE藤宫FOUP/FOSB全自动清洁系统UPC-12500
HUGLE藤宫FOUP/FOSB全自动清洁系统UPC-12500
UPC-12100已经改造为自动清洁300mm晶圆FOUP的模型。
它以高质量，高产量和节能的概念得到了改进，这是现代半导体制造不可或缺的。
它符合CE标准以及SEMI标准。
兼容自动传输系统（AMHS），通讯协议与GEM300兼容，适合在线管理。
●高产量●占地面积设计●节能措施●全自动FOUP开闭防止交叉污染●双流体喷射清洗方式超精密清洗●高效干燥方法●SEMI通讯标准兼容GEM300●交货记录高●SEMI S2，符合S8和CE标准
规范