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产品名称:
椭圆偏光膜厚量测仪（手动）
产品型号:
产品特点 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速量测椭圆偏光光谱。 自动变更反射量测角度，可得到更详
产品展商:
OTSUKA大冢光学
折扣价格:
0.00 元
关注指数:456
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400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速量测椭圆偏光光谱。
自动变更反射量测角度，可得到更详细的薄膜解析数据。
采用正弦杆自动驱动方式，展现量测角度变更时优异的移动精度。
搭载薄膜分析所需的全角度同时量测功能。
可量测晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
椭圆偏光膜厚量测仪（手动）
的详细介绍
产品特点
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400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速量测椭圆偏光光谱。
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自动变更反射量测角度，可得到更详细的薄膜解析数据。
-
采用正弦杆自动驱动方式，展现量测角度变更时优异的移动精度。
-
搭载薄膜分析所需的全角度同时量测功能。
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可量测晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
量测项目
产品规格
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样品对应尺寸
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100 × 100 mm
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量测方式
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偏光片元件回转方式
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入射/反射角度范围
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45 ~ 90°
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入射/反射角度驱动方式
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反射角度可自动变更
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波长量测范围
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300 ~ 800 nm
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分光元件
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Poly-chrometer
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尺寸
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650(H)× 400(D)× 560(W)mm
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重量
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约50 kg
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