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产品名称:
显微分光膜厚仪
产品型号:
产品展商:
OTSUKA大冢光学
折扣价格:
0.00 元
关注指数:282
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膜厚测量中必要的功能集中于头部。
通过显微分光高精度测量**反射率（多层膜厚、光学常数）。
1点只需不到1秒的高速tact。
实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）。
通过区域传感器控制的**构造。
搭载可私人定制测量顺序的强大功能。
即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数。
各种私人定制对应（固定平台，有嵌入式测试头式样）。
显微分光膜厚仪
的详细介绍
产品特点
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膜厚测量中必要的功能集中于头部。
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通过显微分光高精度测量**反射率（多层膜厚、光学常数）。
-
1点只需不到1秒的高速tact。
-
实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）。
-
通过区域传感器控制的**构造。
-
搭载可私人定制测量顺序的强大功能。
-
即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数。
-
各种私人定制对应（固定平台，有嵌入式测试头式样）。
量测项目
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**反射率测量
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膜厚解析
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折射率n、消光系数解析k
产品规格
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型号
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OP-A1
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OP-A2
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OP-A3
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波长范围 wavelength Range
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230～800nm
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360～1100nm
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900～1600nm
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膜厚范围 Film Thickness Range
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1nm～35μm
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7nm～49μm
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16nm～92μm
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样品尺寸Sample Sizes
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Max. 200mm×200mm×17mm
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点径Spot Sizes
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φ 5μm（反射40倍镜头），改造后可达到3μm
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tact time Measurement Time
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１秒／1点
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尺寸 Sizes
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本体（W555×D537×H559mm）, 控制单元（W500×D180×H288mm）
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功用 Utilities
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750 VA
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*1上述式样是带有自动XY平台。
*2 release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。
*3 膜厚范围是SiO2换算。
应用范围
■ FPD
・LCD、TFT、OLED(有机EL)
■ 半导体、复合半导体
・矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料
■ 资料储存
・DVD、磁头薄膜、磁性材料
■ 光学材料
・滤光片、抗反射膜
■ 平面显示器
・液晶显示器、薄膜电晶体、OLED
■ 薄膜
・AR膜
■ 其它
・建筑用材料
量测范围
玻璃上的二氧化钛膜厚、膜质分析