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产品名称:
杉本有供 HORIBA流量控制器D500
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关注指数:89
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概要
**的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500
高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块
特征
杉本有供 HORIBA流量控制器D500
的详细介绍
**的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500
高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块
高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统
新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围
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G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)
先进G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力
先进的三维调节已改进工艺气体的流量精度
响应速度＜0.8秒
已实现精准且稳定的流量控制
控制范围：0.2% F.S. ~ 100% F.S.
制造: HORIBA STEC