日本 PILLAR皮拉风囊泵半导体行业CHINA代理商产品介绍
日本 PILLAR皮拉在半导体 / FPD 制程、精细化工、制药、环保水处理等强腐蚀、高洁净、防爆工况中，普通金属泵易腐蚀污染、机械密封泵易泄漏、传统隔膜泵脉动大且寿命短。日本 PILLAR（皮拉）作为高纯氟树脂波纹管泵全球热销款，其 PE-MA 系列以全 PFA/PTFE 接液、无密封零泄漏、低脉动、长寿命、气动防爆为核心，成为高纯化学品输送的热销款。
一、日本 PILLAR皮拉型号定位与核心用途
· PE-20MA：中流量主力，32 L/min，半导体湿法 / 化工循环通用。
· PE-40MA：大流量机型，60 L/min，生产线批量供液 / 大循环系统。
· PE-80MA：超大流量机型，82 L/min，中温上限 80℃，高流量腐蚀流体输送。定位：中温型（10–100℃，PE-80MA 为 10–80℃）高纯耐腐蚀气动波纹管泵，用于强酸强碱 / 有机溶剂 / 高纯药液的输送、循环、加注。
二、日本 PILLAR皮拉工作原理：双波纹管往复容积式
· 采用双波纹管对称结构，压缩空气驱动一侧波纹管伸展、另一侧收缩，形成往复容积变化；
· 配合PTFE 单向阀控制流向，完成吸排液循环；
· 无旋转部件、无机械密封，从根源杜绝泄漏与金属污染；
· 波纹管高柔性抗疲劳，弯曲处 R 角优化，寿命可达数万小时。
三、 核心技术参数（原厂规格）
四、 1. 基础性能
参数
PE-20MA
PE-40MA
PE-80MA
*大吐出量
32 L/min
60 L/min
82 L/min
工作温度
10–100℃
10–100℃
10–80℃
驱动气压
0.2–0.5 MPaG
0.2–0.5 MPaG
0.2–0.5 MPaG
*大吐出压力
0.45 MPaG
0.45 MPaG
0.45 MPaG
接液材质
PFA/PTFE
PFA/PTFE
PFA/PTFE
自吸能力
强（可干转）
强（可干转）
强（可干转）
2. 结构与接口
· 泵体：PFA 一体成型，高洁净、耐酸碱 / 有机溶剂；
· 波纹管：高纯 PTFE（改性抗疲劳），带序列号追溯；
· 阀球 / 阀座：PTFE，低磨损、密封严；
· 接口规格：
o PE-20MA：Rc1/2"（NPT1/2"）
o PE-40MA：Rc3/4"
o PE-80MA：Rc1"
四、五大核心技术优势
1. 全氟树脂接液，高纯耐腐蚀
· 所有接液部件为PFA/PTFE，耐受硫酸、盐酸、硝酸、蚀刻液、显影液、有机溶剂；
· 无金属离子析出，满足半导体电子级（EL）/ 超高纯（UP）要求。
2. 无密封零泄漏，本质**
· 无轴封、无填料、无旋转摩擦，消除泄漏点；
· 气动驱动（无需用电），防爆等级 Ex d IIB T4，适配易燃易爆 / 防爆车间。
3. 低脉动输送，流量平稳
· 双波纹管对称往复，自带流量缓冲效应，脉动远低于传统隔膜泵；
· 可选配脉动调节器（PA 系列），进一步降低脉动，保护精密管路与传感器。
4. 长寿命免维护，运行成本低
· 波纹管抗弯曲疲劳设计，R 角分散应力，寿命可达30,000 小时 +；
· 结构极简，无易损件，日常仅需检查气源与管路，维护成本极低。
5. 强自吸可干转，工况适应性强
· 自吸高度可达6m，可空转 / 干转不伤泵，无惧气蚀与断液；
· 流量随气压0.2–0.5MPa线性可调，适配不同工况流量需求。
五、典型应用场景
1. 半导体 / FPD 行业
· 湿法清洗：SC-1/SC-2、硫酸双氧水、盐酸输送与循环；
· 蚀刻工序：显影液、蚀刻液、剥离液精准供液；
· 高纯水处理：UPW/DIW循环与转移。
2. 精细化工行业
· 酸碱药液输送、溶剂循环、反应釜供料、废水处理（含氟 / 含氯废水）。
3. 制药与食品行业
· 高洁净药液、缓冲液、溶剂输送，符合GMP要求。
4. 环保与新能源
· 锂电池电解液、酸碱清洗液输送；
· 光伏 / 新能源腐蚀流体循环系统。
六、总结
PILLAR PE-20MA/PE-40MA/PE-80MA 是高纯腐蚀流体输送气动波纹管泵，以全氟树脂材质、无密封零泄漏、低脉动、长寿命、气动防爆五大核心优势，解决半导体、化工、制药等行业的腐蚀、污染、泄漏、脉动、防爆痛点。
产品概述
PILLAR皮拉泵PS-E2MA是一款专为高精度流体输送设计的化学药液泵，采用日本PILLAR公司的隔膜泵技术，广泛应用于半导体制造、化工、医药、电子等行业。该泵以的耐化学性、低脉动性能和紧凑结构著称，特别适合处理腐蚀性、高纯度或敏感化学物质，确保输送过程稳定且无污染。
核心特点
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全氟树脂构造：所有接液部件（包括隔膜、阀体和泵腔）均采用聚四氟乙烯（PTFE）材质，赋予产品的耐化学腐蚀性，可抵御强酸、强碱及有机溶剂的侵蚀，同时具备优异的耐热性，适应高温工况。
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低脉动设计：通过集成蓄积功能与的操作机构，显著减少流体输送中的压力波动，即使在高流量下也能保持稳定的排出压力，避免对下游设备造成冲击，提升工艺精度。
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紧凑轻量化：体积小巧，结构紧凑，便于在空间受限的实验室或生产线中安装，同时降低整体重量，简化搬运与维护流程。
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清洁与**：全氟树脂材质确保泵体内部无金属部件接触流体，杜绝离子污染风险，满足半导体行业对高纯度化学品输送的严苛要求，并降低泄漏事故概率。
技术参数
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型号：PS-E2MA
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流量范围：0.5-2.0 L/min（可调），适应不同流速需求，确保**计量。
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压力：0.45 MPa，提供足够的输送动力，适用于中低压应用场景。
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温度范围：-20℃至150℃，宽温域适应能力使其能在环境中稳定运行，如高温反应釜或低温冷却系统。
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材质：接液部分100% PTFE，非接液部分为高强度工程塑料，兼顾耐腐蚀性与结构强度。
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驱动方式：气动驱动，无需电力，防爆设计使其成为易燃易爆环境中的理想选择，同时降低能耗。
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脉动控制：脉动率低于5%，通过内置蓄能器实现近乎平缓的流体输出，减少管路振动。
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接口尺寸：标配1/4英寸NPT螺纹接口，兼容标准管路系统，简化安装与连接。
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重量：约3.5 kg，轻量化设计便于移动与固定，减少安装负担。
应用场景
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半导体制造：用于光刻胶、蚀刻液等高纯度化学品的**输送，避免金属离子污染，保障芯片良率。
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化工行业：处理强酸、强碱或有机溶剂，如硫酸、*、丙酮等，确保设备长期耐腐蚀运行。
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医药与生物技术：输送无菌或生物兼容性流体，如培养基、缓冲液，满足GMP规范要求。
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电子清洗：在PCB制造中处理清洗剂，防止残留物影响电路性能。
维护与优势
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维护简便：模块化设计允许快速更换隔膜与阀体，无需拆卸泵体，显著减少停机时间。
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经济高效：低脉动设计降低能耗，全氟树脂材质延长使用寿命，减少更换频率，综合成本效益突出。
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环境友好：无泄漏设计保护操作人员**，同时减少化学废物排放，符合环保法规。
总结
PILLAR皮拉泵PS-E2MA凭借其全氟树脂耐腐蚀性、低脉动性能及紧凑结构，成为高精度流体输送领域的产品。广泛的应用场景与的技术参数，使其在半导体、化工、医药等行业，为用户提供高效、**且经济的解决方案。