MUSASHI武藏涂布装置FAD5700/FAD5100S/FAD5100S-WH/FAD2500/TAD1000/MBC-V
全自动涂布装置专门针对半导体、实装区域、车载领域的应用。 各种实际应用程序、易用操作界面等,涂布品质和生产性实现。
新一代底部填充全自动点胶机装置FAD5700
*先进的半导体流程(WLP/PLP/芯片relet/异种芯片集成)对应。
多头部独立控制制,涂布重量自动补充功能。
・不停连续动作的高速对准:
Muskycapture
・无止连续作的高度测量:Muskysensing
・涂布量自动化:DVM机能
・大量**于未然:AFC机能
全自动**点胶机FAD5100S
・ 高速涂布:快车点胶机能。
・ 不停连续动作的高速对准:机能快车。
・ 涂布量自动化:DVM机能。
・ 形成理想的涂布模式“叶线”:MCD功能[PAT.P]。
・ 大量**于未然:AFC机能
全自动晶圆级点胶机器FAD5100S-WH
・ 高速涂布:快车点胶机能。
・ 不停连续动作的高速对准:机能快车。
・ 涂布量自动化:DVM机能。
・ 形成理想的涂布模式“叶线”:MCD功能[PAT.P]。
・ 大量**于未然:AFC功能。
・功能搭载映射。
全自动多功能点胶机器FAD2500
全自动涂布装置的主要框架是满足广泛的需求。
・ 多头部对应:实现各种应用的高通性。
・ 实现无止连续动作的高速涂布:快车JET机能。
・ 涂布量全自动化:DVM机能。
・ 形成理想的涂布模式“叶线”:MCD功能(PAT.P)。
・ 将丰富多彩的配件产品标准化。
全自动小型点胶机SMART ROBO TAD1000
■大幅下降**品率
・可实现高品质涂布、稳定量产。
・减少运行成本。
■超紧凑型节省人工
・空间成本低。
■将点胶技术浓缩在小型。
・初始成本下降低。
真空**式布置装置MBC-V
・减压下高精度稳定涂布:武藏 独特的点胶技术在减压环境下也可以固定涂布。
・大量**于未然:搭载了专门针对FAD5100S培育的UF的2大功能DVM·AFC。准确把握一直发生变化,防止**发生于未然。
・提交*先进流程的涂布自动化线:综合支持连接搬运机器臂的独立贷款、多**、在线等各种自动化线路。
