hamamatsu滨松EQS-10无电极Z-™夹
EQS-10 是滨松光子学（Hamamatsu Photonics）旗下子公司 Energetiq Technology 推出的新一代无电极 Z-Pinch™ 极紫外（EUV）光源，是 EQ-10R 的升级换代型号，专为 EUV 计量学、光刻胶开发和缺陷检测等苛刻应用设计。该型号于 2024 年 9 月在美国蒙特雷举行的 SPIE Photomask Technology + Extreme Ultraviolet Lithography 大会上**亮相。
EQS-10 延续了 Energetiq **的无电极 Z-Pinch™ 技术——通过电感耦合方式将电流导入等离子体，等离子体在磁场作用下远离光源内壁，从根本上消除了电极烧蚀问题。在此基础上，EQS-10 采用了先进的固态开关技术，并集成了 Energetiq 独特的直接燃料系统（Direct Fueling System），大幅提升了能量输出效率并降低了气体消耗。
Z-Pinch 加更多冲击
EQS-10在全球部署了60多个前代型号，基于经过实地验证的平台，每脉冲能量可提升四倍，工作频率高达5 kHz。采用**固态开关技术设计，EQS-10确保****的效率，成为包括极紫外测量、光阻显影和缺陷检测等高要求极紫外应用的**解决方案。
可信赖的技术，全球支持
Energetiq**的无电极Z-钳™制技术现已进入下一代，继续为极紫外光和软X射线光源树立标准。EQS-10保持了客户期望的低碎片、长管长寿命和高空间稳定性，确保*小停机时间并*大化运营效率。在Energetiq全球网络的支持下，EQS-10不仅仅是一款产品——它是一款可靠的解决方案，能够适应行业需求。
hamamatsu滨松EQS-10无电极Z-™夹主要特点：
****的能量输出：每个脉冲的能量是前代 EQ-10R 的 4 倍，显著提升 EUV 光通量，满足更苛刻的计量和检测需求。
高频操作：脉冲重复率*高可达 5 kHz，是前代 2 kHz 的 2.5 倍，确保先进应用的*大性能。
固态开关技术：采用先进的固态开关技术替代传统开关方案，确保超高效率和可靠性。
预电离控制：增强 Z-Pinch 效率，并实现对不同气体的可调性，提升了光源的灵活性。
降低拥有成本：直接燃料系统可减少高达 60% 的气体消耗，每瓦成本降低 25%，在提升性能的同时大幅降低运营成本。
低碎屑、长寿命：延续无电极 Z-Pinch 技术的核心优势——低碎屑、长孔寿命和高空间稳定性，确保*小停机时间和*大运行效率。
经过验证的可靠性：截至 2024 年发布时，Energetiq 已在全球安装了 60 台 EUV 光源，并依托滨松光子学的全球支持网络提供**服务。
hamamatsu滨松EQS-10无电极Z-™夹典型应用：
EUV 计量学：EUV 光学元件的反射率测量和表征。
光刻胶开发：利用 13.5 nm EUV 光进行光刻胶灵敏度、分辨率和线边缘粗糙度的评估。
缺陷检测：半导体材料和器件的 EUV 缺陷检测。
EUV 掩模检测：光化掩模空白检测和图案掩模缺陷检测。
hamamatsu滨松EQS-10无电极Z-™夹在 Energetiq EUV 光源产品线中的定位：
EQS-10 是 Energetiq 无电极 Z-Pinch™ EUV 光源产品线的新一代旗舰型号，直接替代前代 EQ-10R。相比 EQ-10R 的 10 W 输出功率和 2 kHz 重复率，EQS-10 在每脉冲能量和重复频率上均实现了质的飞跃，同时通过直接燃料系统将气体消耗降低了 60%，每瓦成本降低了 25%，是面向下一代 EUV 计量和检测应用的理想光源平台。
