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产品名称:
上海kashiyama柏山工业株式会社 真空泵
产品型号:
SDH3000
产品展商:
日本kashiyama柏山工业
折扣价格:
0.00 元
关注指数:22
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KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。KASHIYAMA柏山工业的SDH3000干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
上海kashiyama柏山工业株式会社 真空泵
的详细介绍
日本KASHIYAMA柏山株式会社——干式真空泵
KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。KASHIYAMA柏山工业SDH3000干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并，除此之外，鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
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型号*1
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SDX600
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SDT600
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SDX1200
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SDT1200
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SDX1800
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SDT1800
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SDH3000 *5
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SDH6000 *5
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*大抽速
[L/min] *2
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10,000
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18,000
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19,000
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30,000
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50,000
|
100,000
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极限压力
[Pa] *2
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0.5
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0.3
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0.5
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氮气流量[SLM]
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0 至 80
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0 到 120
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冷却水流量[L/min]
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3.0
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4.0
|
3.0
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4.0
|
3.0
|
4.0
|
4.0
|
4.0
|
|
消耗功率 [kW] *3
|
1.5
|
3.0
|
1.65
|
3.15
|
2.1
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3.3
|
3.3
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3.7
|
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外形尺寸 [mm] *4
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L。
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695
|
695
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850
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910
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1050
|
|
W.
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第285章
|
第285章
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380
|
第420章
|
515
|
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H。
|
850
|
850
|
950
|
900
|
950
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*1) SDX 节能/赫什工艺兼容机、SDT/SDH 耐工艺/超严酷工艺兼容机
*2)不使用 N2 吹扫时的值。*3) *终运行期间的大约功耗。*4) 封装尺寸。如需详细尺寸，请索取外部图纸。
*5) 我们拥有一系列具有优异加工耐受性的产品，因此请联系我们的销售代表。
规格和型号名称如有变更，恕不另行通知。*请联系我们了解兼容的气体类型。
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