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雅马拓YAMATO日本yamato洁净厌氧高温气氛炉[产品打印页面]
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产品名称:
雅马拓YAMATO日本yamato洁净厌氧高温气氛炉
产品型号:
DTN650C
产品展商:
Yamato雅马拓
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日本雅玛拓YAMATO洁净厌氧高温气氛炉
DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
*高工作温度360℃和500℃。
采用耐热高性能高效过滤器
雅马拓YAMATO日本yamato洁净厌氧高温气氛炉
的详细介绍
日本雅玛拓YAMATO洁净厌氧高温气氛炉
DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C
DEC812C/DEC912C
DES830C/DES830UC/DTS830C/DTS830UC
DG410C/DG450C/DG810C/DG850C
DGS400/DGS800
DH450SC/DH650SC/DH850SC
DF811SC/DF1011SC, DH811SC/DH1011SC
DF411SC/DF611SC, DH411SC/DH611SC
DNN430C/DNN630C/DNN460C/DNN660C
DF611IC/DH611IC
DY310C/DY410C/DY610C
DN410IC/DN610IC
DX312C/DX412C/DX612C
DVS412C/DVS612C
DNF411C/DNF611C/DNF811C/DNF911C
DNE411C/DNE611C/DNE811C/DNE911C
DKG610/DKG610V/DKG810/DKG810V
DH450C/DH650C/DH850C
DFS710C/DFS810C, DHS710C/DHS810C
DF811C/DF1011C, DH811C/DH1011C
DF411C/DF611C, DH411C/DH611C
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
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*高工作温度360℃和500℃。
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采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
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高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
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磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
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可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
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标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
安 全性
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门检测开关
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温度过升防止器
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氧浓度异常安 全装置
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氮气压力检测
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氮气流量检测
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冷却水流量检测
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漏水传感器
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过电流漏电漏电保护开关
