SIMCO-ION思美高设备优点：静电吸附是用于临时吸附材料的一种特殊工艺，ECM系列静电吸附系统可以根据客户需要提供高达60KV静电电压用于各种场合。ECM静电吸附系统采用高频开关技术提供三大优势。首先，能够根据所设定的电压实现稳定的电压输出；其次，输入电压的波动将不会影响输出电压波动；*后，周边环境的变化，负载的变化，特别是在*大临界负载变化将不会影响输出电压的稳定性。ECM静电吸附系统采用防电弧技术，很重要的优点可以保证人身和设备使用**,并提高设备的稳定性，延长使用寿命。对于静电吸附系统，静电产生电极通常被连接到高达几万伏的电压，静电产生电极周围会发生电晕现象，空气被电离，在电场的作用下，电荷移动至目标物体上。此时目标物体所带有电荷的极性依赖于所产生高压相对于地极的极性。

5225 型气棒离子发生器是一种棒型离子发生器，专为半导体等超洁净工艺设备的应用而设计。

长处

■单晶硅电极在全球拥有****的采用记录，具有超低颗粒特性，避免
了电极材料造成的金属污染风险 ■通过脉冲直流法
消除静电的能力范围广 ■ 由全数字电路控制， 更稳定的离子生成和长期离子平衡 ■ 通过在中和目标附近安装5200-SR外部传感器（可选），可以控制中和目标附近的离子平衡
，而不是离子发生器棒本身（如果未连接5200-SR， 离子发生器棒内置的传感器自动调节离子平衡）
■ 根据半导体前端工艺的EFEM设置长度条 ■ 离子发生输出、离子发生时间、报警阈值等 各种参数可在很宽的范围内设置
。 灵活
支持长距离应用和气流较弱的环境 ■ 只需以数字方式输入参数即可获得高再现性，可在短时间内
完成设置 ■ 除了简单的报警IO， 使用免费提供的DLL可以进行实时监控，有助于掌握过程设备的状态。

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