• 与外部传感器(NOVX 3150/3350/3360/7000 等) 相结合,实现 高精度 +/-1v 离子平衡(无外部传感器 +/-3v) • 独特的 自动离子平衡控制 实现 维护周期的延长 ■ 高洁净对应 ·型号5802i,5810i,5822i电离器鼓风机设计用于 洁净室内用途, ISO 4类(联邦标准) 209E Class 10) 兼容高清洁设计 • 准直器选项 • 自动电极清洁机构选项 • 全球交付业绩 高可靠性和本地支持
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