特長
■通过与外部传感器(NOVX 3150/3350/3360/7000 等)组合实现
高精度 +/-1v 离子平衡(+/-3v
无外部传感器)
■兼容高清洁度
■型号 5802i、5810i、5822i离子发生器鼓风机
专为在洁净室中使用而
设计,是符合 ISO Class 4 (Fed Std 209E Class 10) 的高度洁净设计。
■通过我们独特的自动离子平衡控制
实现延长维护周期。
■配备风扇停止警报.
■自动电极 . 清洁机制选项 高可靠性和本地支持,得到 全球许多
交付的支持