5802i 型离子发生器鼓风机系统与外部传感器结合保持 +/-1v 的离子平衡，使其在严格的静电控制过程中具有高精度。高速静电消除鼓风机。 特長 ■通过与外部传感器（NOVX 3150/3350/3360/7000 等）组合实现 　高精度+/-1v 离子平衡（+/-3v 　无外部传感器） ■**的自动离子平衡控制缩短 　了维护周期 长期运行 ■与高洁净度兼容 ■ 5802i、5810i、5822i 型离子发生器鼓风机 　设计用于洁净室， 　高度洁净设计，符合 ISO 4 级（Fed Std 209E 10 级） ■准直器选项 ■自动电极清洁机构选项 　高可靠性和由全球许多