OTSUKA大塚电子非接触式光学膜厚仪 [产品打印页面]

即时检测

WAFER基板于研磨制程中的膜厚玻璃基板于减薄制程中的厚度变化(强酸环境中)

产品特色

非接触式、非破坏性光学式膜厚检测采用分光干涉法实现高度检测再现性可进行高速的即时研磨检测可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中体积小、省空間、设备安装简易可对应线上检测的外部信号触发需求采用*适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得砖利)可自动进行膜厚分布制图(选配项目)

规格式样

※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同※2 *小Φ6μm
日本OTSUKA
大塚相位差膜・光学材料检查设备RETS-100 日本OTSUKA大塚相位差膜・光学材料检查设备RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜・光学材料检查设备RETS-1江苏苏州南京太仓安徽芜湖合肥浙江杭州常州常熟苏州古尾谷有售强势供应有技术支持
详情介绍：
相位差膜・光学材料检查设备　RETS-100
相位差膜・光学材料检查设备 RETS-100对应范围广，从反射型・透过型type的已封入液晶的cell到带有彩色滤光片的空cell都可对应
苏州古尾谷电子有限公司 代理销售  直供各类工业品  联系人陈小姐15250013623
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产品信息
特　点
• 采用了偏光光学系和多通道分光检出器
• 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板
• **对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备
测量项目
• 封入cell gap
• twist角
• rubbing角
• pretilt角［TN,IPS,FFS,MVA］
• 空cell gap
• 相位差（复折射相位差）的波长分散
• 光学轴
• 椭圆率/方位角
• 三次元折射率/Rth/β
• 分光光谱/色度
测量对象
• 液晶cell
-　透过、半透过型液晶cell（TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強感应电）
-　反射型液晶cell（TFT、TN、IPS、VA）
• 光学材料
-　其他（相位差・椭圆・偏光膜、液晶材料）
仕　样
型号
RETS series
样品尺寸
20mm×20mm ～ *
cell gap测量范围
0.1μm ～ 数10μm
cell gap重复性
±0.005μm
检出器
多通道分光光度计
测量波长范围
400nm ～ 800nm
光学系
    透过用偏光子unit
偏光光学系
    消光比 10-5内置Gran-tomson prism（方解石）
    自动旋转（角度精度0.1°）、自动装卸机构
测量口径
φ2, φ5, φ10 (mm)
光轴倾斜机构
-20 ～ 45°、-45 ～ 45°等
*　大型玻璃基板也可用（2000mm×2000mm以上）
测量案例
相位差与液晶层间隙值
item_0008retsseries_sub001.jpg
液晶面内分布图
item_0008retsseries_sub002.jpg
长期供应 大冢光学OTSUKA RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜・光学材料检查设备RETS-100     苏州市新杉本电子科技有限公司/ 日本大冢OTSUKA 苏州新杉本直销/联系人陈小姐15250013623
1、VR/AR硬件设备：显示设备、输入设备、数据设备、跟踪设备、跟踪系统、定位系统、其它跟踪等；
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12、数字展览展示技术：多媒体系统与应用技术、3D全息幻影成像、智能中控系统、滑轨电视、沉浸式影院、液晶拼接屏等；
13、数字内容展示：全息舞台、演唱会解决方案、消防
苏州代理OTSUKA大塚厚量测仪

RETS-100采用了偏光光学系和多通道分光检出器
有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板

可对应液晶line内的检查设备

测量项目

封入cell gap
 twist角
rubbing角
 pretilt角［TN,IPS,FFS,MVA］
 空cell gap
相位差（复折射相位差）的波长分散
光学轴

 椭圆率/方位角
三次元折射率/Rth/β
分光光谱/色度

测量对象

 液晶cell
-　透过、半透过型液晶cell（TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強感应电）
-　反射型液晶cell（TFT、TN、IPS、VA）
光学材料
-　其他（相位差、椭圆?偏光膜、液晶材料）

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