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产品名称:
日本SSD西西蒂光照射除电装置扬州供应
产品型号:
ISX-224
产品展商:
SSD西西帝防静电设备
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关注指数:30
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简单介绍
与瓦斯的流动狀态无关,可获得安定的除电性能。由于被光照射到的空间內广范围地將瓦子化,因此,即使除电对象物附近存在不穩定的气流,也不影响除电性能。 平常完全不须维护,仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。 由于正负离子及电子平均分布于空间內,因此除电对象物的残留电位可定为0V。 由于光直接离子化,因此,在大气压下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除电。 由于是光照射之离子系统,因此,完全不发尘,电磁杂讯(noise)也几乎无发生。 依高能量光使得空气中的氧气分子也加速离子化,因此,几乎沒有产生臭氧(ozone)。 构成本系统的机器,仅有软X线管头及电力装置2項,在制造装置.搬运上易安裝
日本SSD西西蒂光照射除电装置扬州供应
的详细介绍
产品特点：
l 对于一般大气中晶圆(wafer)等带电电位衰減至1/10,於1S以內的短时间內除电。
l 与瓦斯的流动狀态无关,可获得安定的除电性能。由于被光照射到的空间內广范围地將瓦子化,因此,即使除电对象物附近存在不穩定的气流,也不影响除电性能。
l 平常完全不须维护,仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。
l 由于正负离子及电子平均分布于空间內,因此除电对象物的残留电位可定为0V。
l 由于光直接离子化,因此,在大气压下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除电。
l 由于是光照射之离子系统,因此,完全不发尘,电磁杂讯(noise)也几乎无发生。
l 依高能量光使得空气中的氧气分子也加速离子化,因此,几乎沒有产生臭氧(ozone)。
l 构成本系统的机器,仅有软X线管头及电力装置2項,在制造装置.搬运上易安裝。