HONDA本多石英振動体型洗浄機 [高周波][产品打印页面]

概要 特長 晶圆清洗更精细，损伤小 ■ 超声波叠加在石英振动体上，对半导体晶圆进行清洗 。零件振动，其加速度会**表面的污垢。 ■ 实现对半导体晶片的损伤少的清洁清洗 与 化学品接触的部分使用石英，与使用橡胶材料的设备相比，没有橡胶溶出或磨损，可以进行清洁清洗。 ■ 由于具有振荡器冷却功能，通过气体（氮气等）冷却振荡器，可以稳定地连续运行而不会发生频率波动。 此外，通过冷却，温度不会突然变化，使用寿命长。 用途 去除抗蚀剂残留物 磨边和灰化后去除聚合物 栅电极清洗 CMP 后清洗