微型 ALN 加热板

板材采用高导热、高可靠性的氮化铝。
由于温度传感器内置在加热器中，因此可以进行**的温度控制。

特长

• 温度分布
  小面积、大容量的发热体均匀地嵌入板面，温度分布好。
• 普通 400 ℃
  可在 400 ℃ 以下（*高 500 ℃）的大气中使用，根据条件甚至可以在真空中使用。
• 温度控制
  由于温度传感器内置在加热器中，因此可以**控制温度。
• 导热板 导热
  板采用氮化铝，导热系数高，可靠性高。

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标准规格

型号名称	MTP-500
产品代码	MTP500
加热器额定值	100V　※330W±25%（ワット密度＝13.2W/cm2）
内置热电偶	K型热电偶（内置在加热器中）
使用温度	大气；常规 400°C 500°C Max 在 真空中；常规 400°C 500°C Max（取决于真空压力条件）
板面积	50×50mm

* 容量是室温下的容量。请注意，它会随着温度的升高而降低。

形状

参考特性

大气上升特性
（使用 SCR-SHQ 时）

真空上升特性
（使用 SCR-SHQ 时）

各大气压、电压、内置传感器温度特性

各气氛下的板温分布特性（设定温度400℃）