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型号
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SURFCOM FLEX
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-5OA
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-35B
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-40A
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-45A
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量程
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Z方向
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±400μm
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±160μm
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驱动轴
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X方向 50mm
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X方向 12.5mm
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Y方向 4.0mm
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分辨率
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乙方向
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0.00016/±4μm
0.16μm/±400μm
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0.01μm/±20μm
0.08μm/±160μm
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分析项目
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对应规格
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JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO规格
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参数
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JIS-2001
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Ra、Pa、Pq、Pt、Rz、RzJ、Rzmax、Rq、Rp, Rt,R3z, RSm, Pc,AVH,Hmax,Hmin,Pmr,Rmr,Pk, Rpk,Rvk, Mr1, Mr2, VO, K,
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Motif
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R. Rx. AR, W, Wx ,AW, Wte
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评价曲线
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剖面曲线、粗糙度曲线、ISO13565特殊粗糙度曲线、粗糙度中心曲线(Motif)、波纹度Motif曲线、包络波纹度曲线
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滤波波纹度曲线、
波纹度曲线
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__________
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特征曲线
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负荷曲线、振幅分布曲线
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滤波
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滤波方式
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高斯、2RC、2RC（无相位补偿）
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截止波
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λc:0.08、0.25、0.8、2.5、5、8、25mm
λs：0.25、0.8、2.5、8、25μm
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λc:0.08、0.25、0.8、2.5mm
λs：2.5、8μm
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λc:0.08、0.25、0.8μm
λs：2.5μm
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评价长度
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0.1~50mm(0.1mm单位)
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0.4~12.5mm(0.1mm单位)
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0.4~4.0mm(0.1mm单位)
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测量速度
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0.15~1.5mm/s
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0.6mm/s
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0.3mm/s
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传感器
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动作方式
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普通型
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标准型
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退避型
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横向测量型
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传感器方式
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差劲变压器
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差动电感（变位型）
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测针
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金刚石、60°圆锥、2μmR
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金刚石、90°圆锥、5μmR，导头32mmR（驱动方向）
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测力
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0.75mN以下
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4mN以下
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尺寸及
质量
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电源
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内置充电电池（AC变压器充电），充电时间3小时
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耗电量
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约30VA（充满电后可以测600次）
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质量
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约90g
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外形尺寸
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FLEX部：132（W）x58(D)X214(H)mm
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标准附属品
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标准片(E-MC-S24B)、AC变压器、记录纸（E-CH-S25A）、说明书
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传感器（E-DT-SE19A）
测定子（DM43801）
驱动部线（E-SC-S517A）
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传感器（E-DT-SM10A）
测定子（E-WJ-S64A）
驱动部线（E-SC-S518A）
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传感器（E-DT-SM39A）
标准片（E-WJ-S558A）
V型导头（E-WJ-S536A）
驱动部线（E-SC-S519A）
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