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产品名称:
杉本KOSAKA 台阶仪薄膜测厚仪
产品型号:
ET200A
产品展商:
KOSAKA小坂
折扣价格:
0.00 元
关注指数:71
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KOSAKA 台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机 ET200A
杉本KOSAKA 台阶仪薄膜测厚仪
的详细介绍
台阶仪ET200A产品参数
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*大试片尺寸
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Φ200mm×高度50mm
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重现性
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1σ ≤ 1nm
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测定范围
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Z:600um X:100mm
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分解能
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Z:0.1nm X:0.1um
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测定力
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10UN~500UN (1mg-50mg)
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载物台
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Φ160mm, 手动360度旋转
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ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析，包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。