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自动Mask Aligner UV 光刻机
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自动Mask Aligner UV 光刻机
自动Mask Aligner UV 光刻机
的详细介绍
本设备把Photo Mask 和Wafer 的对位标记进行对位重合，进行软接触曝光的Mask 对位设备。由图像处理系 统自动进行对位处理。 Cassette 对Cassette 的搬送，Pre-Alignment，Alignment，曝光等一系列的动作自动进行。 可以通过对触摸屏的操作，输入曝光所需要的必要条件。 通过搭载的3 台搬送机械臂，从而实现高速率的生产。 ◆将插入Wafer 的专用Cassette 置入设备后，开始生产。 ① 收纳在Loader Cassette 内的Wafer 数量・状态由传感器读取（图片） ② 由搬送机械臂1 把Wafer 从Loader Cassette 搬送到预对位操作台上 ③ 根据外形，平边整合并进行预对位 ④ 由搬送机械臂2 运载wafer 到操作台上 ⑤ 自动对位 ⑥ 曝光位置管理 ⑦ 曝光 ⑧ Wafer 放入到Unloa