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产品名称:
江苏苏州 大冢嵌入式膜厚检测仪 FE-3
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•采用分光干涉法
•搭载高精度FFT膜厚解析系统（砖利 第4834847号）
•使用光学光纤，可灵活构筑测量系统
•可嵌入至各种制造设备。
•实时测量膜厚
•可对应远程操作、多点测量
•采用寿命长、**性高的白色LED光源
江苏苏州 大冢嵌入式膜厚检测仪 FE-3
的详细介绍
测量项目
·多层膜厚解析
用 途
•光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）
•FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）
设备构成
单点型
•半导体晶圆的面内分布测量
•玻璃基板的面内分布测量
多点型
•实时测量
•流向品质管理
•真空室适用
导线型
•实时测量
•宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析
