MIKASA米卡萨光刻机|苏州市新杉本电子科技有限公司

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MIKASA米卡萨光刻机

MIKASA米卡萨株式会社：
为半导体制造工序提供支持的 Mikasa备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后，提供一站式服务。另外，为旋转涂膜仪的所有机型准备了替代用机，可在发生故障时尽早应对，且在销售后提供快捷周到的售后服务。针对研究过程中所发生的一系列问题，也可在现场提出解决建议。与客户共同探讨在哪个工序出现了问题、应如何改进等等，从而得出解决建议。Mikasa 作为一个可在半导体方面进行共同商谈的咨询顾问，不仅销售设备，而是为客户半导体制造的整体工艺流程提供支持。
MIKASA米卡萨旋转涂膜仪：
AC 伺服电机为无刷直流电机，因此更利于保持无尘室的清洁，并且通过降低马达的发热量，从而降低了在连续使用时由于温度上升而对膜厚均匀性产生的影响。编程功能可记忆 10 个程序，此程序*多为 100步长。全机型标配有数字式真空计。对方形基板等提供方便的停止位置设定功能。可变更真空互锁的工作压力范围。
MIKASA米卡萨光刻机：
手动型接触式光刻机。可支持尺寸不固定的基板、硅片/玻璃/化合物/胶片等各种各样的材质。
根据成本及用途，提供平行光型、多反射镜型、均匀光型 3 种曝光光源。
备有支持 5×5mm~100×100mm 及直径达到6Inch 的基板的机型
掩模架、吸盘的更换操作简单，*适于研究开发。
针对高调准精度及薄厚等不同用途，提供 4×、10×、20×这 3 种对位显微镜用的物镜