美国Filmetrics优尼康KLA探针式台阶仪P-7

美国Filmetrics优尼康KLA探针式台阶仪P-7

美国Filmetrics优尼康提供主动式减震台; Proflm3D光学轮廓仪; Fimetrics膜厚仪; 美国薄膜测厚仪;台阶仪; 轮廓仪等产品
P-7建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了很高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

产品描述

P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

P-7建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了很好的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

主要功能

  1.台阶高度：几纳米至1000μm

  2.微力恒力控制：0.03至50mg

  3.样品全直径扫描，无需图像拼接

  4.视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

  5.圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

  6.软件：简单易用的软件界面

  7.生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化
主要应用

      台阶高度：2D和3D台阶高度

      纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

      形状：2D和3D翘曲和形状

      应力：2D和3D薄膜应力

      缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌
工业应用

      大学、研究实验室和研究所

      半导体和化合物半导体

      LED：发光二极管

     太阳能

     MEMS：微机电系统

     数据存储

     汽车

     医疗设备