日本KOSAKA LAB小坂ET200台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)
产品介绍
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本 家发表光学干杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为 代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
KOSAKA ET200 基于 Windows XP 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
技术参数
一、测定工件：
1. *大工件尺寸：φ160mm
2. *大工件厚度：50mm
3. *大工件重量：2kg
二、检出器（pick up）：
1. Z方向测定范围：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 测定力：10μN to 500μN
4. 触针半径：2 μm
5. 驱动方式：直动式
6. 再现性：1σ= 1nm
三、X 轴 (基准轴)：
1. 移动量(*大测长)：100mm
2. 移动的真直度：0.2μm/100mm
3. 移动,测定速度：0.02 ~ 10mm/s
4. 线性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z轴：
1. 移动量：50mm
2. 移动速度：max.2mm/S
3. 检出器自动停止机能
4. 位置决定分解能：0.2μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ160mm
2. 机械手动倾斜： ± 1mm/150mm
六、工件观察：max.110 倍(可选购其它高倍率CCD)
七、床台：材质为花岗岩石
八、防振台(选购)：落地型或桌上型
九、电源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA
十、本体外观尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(不含防震台)
台阶仪的主要工作原理、种类、特点有哪些？
日本KOSAKA LAB小坂ET200台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)
台阶仪是一种针对物体接触表面形貌进行测量的高精密测量仪器，日常中大家可以相对接触的机会较少，但在工业制造行业来说是一款密切相关的仪器设备。
那么我们通过以下几点分析对台阶仪的工作原理、分类、主要特点进行了解。
日本KOSAKA LAB小坂ET200台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)台阶仪的工作原理
台阶仪主要工作是用于精密测量，工作原理是，当触针在检测物体表面划过时，接触体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此触针的运动情况在一定程度上也体现了表面轮廓的情况。而当传感器输出的信号经过测量的电桥之后，输出的信号与触针的平衡位子的位移此刻成正比，调幅信号也随之出现，经过放大和整流之后，位移信号就从调幅信号中解调出来了，信号就变得相应缓慢，也就能在控制器中被读出来。随之噪音滤波器以及波度滤波器会对调制频率以及外界的干扰信号等因素进行进一步的过滤，误差所带来的影响也随之减小。
日本KOSAKA LAB小坂ET200台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)台阶仪的种类
台阶仪也被人们叫做台阶测量仪、薄膜测厚仪、细微形状测定机。由于其内部存在一个样式不一的传感器，因此人们对台阶仪进行分类时，也习惯利用传感器的不同来进行分类，根据传感器的不同，台阶仪一般被分为电感式、压电式以及光电式的台阶仪。其中，电感式的台阶仪测量的精度*高，但是相应的电路处理稍显复杂。而压电式台阶仪其灵敏度*高，结构也较为简单。而光电式台阶仪则是属于较为新型的一种测量仪形式。
日本KOSAKA LAB小坂ET200台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)台阶仪产品特点
台阶仪不仅测量的精度十分高，并且量程也较大，因此测量的结果可以说十分稳定，也有着十分可观的重复性，但是由于侧头和和测件之间免不了哟啊相互接触，因此长此以往，台阶仪的侧头就是分容易变形，这也导致仪器在使用一段时间之后精度也会下降。由于侧头的硬度很多时候都很高，因此并不适用于精密的零件以及软质的表面等物体的测量工作。
日本KOSAKA LAB小坂ET200台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)台阶仪的工业用途
·大学、研究实验室和研究所
·半导体和化合物半导体
·LED：发光二极管
·太阳能
·MEMS：微机电系统
·数据存储
·汽车
·医疗设备
日本KOSAKA LAB小坂ET200台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)