KOSAKA小坂研究所台阶仪/薄膜测厚仪/微细形状测定机ET200A / ET10000/ET4000系列
KOSAKA 台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机
型号：ET200A
产品概述：
● ET200A台阶仪适用于二次元表面纳米等级段差台阶测定、粗糙度测定。
● ET200A台阶仪拥有高精度．高分解能，搭配一体花岗岩结构，安定的测量过程及微小的测定力可对应软质样品表面。
● 该型号台阶仪采用直动式检出器，重现性高。
台阶仪ET200A产品参数
ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析，包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
KOSAKA 台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机
型号：ET4000系列
产品概述：
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高精度．安定性．机能性**适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
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是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
● ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。
● ET4300一适合12"样品测量。
KOSAKA 台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机
型号：ET10000
产品概述：
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对应大面积样品段差测定的全自动机型。
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机台尺寸可根据样品/工件尺寸订制。
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针对生产线全自动大型工件开发，可搭配机械手臂自动进退样品